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    2. 不同尺寸的軟磁合金膜

      示出具有Fe54.9Hf11O34.1組成的軟磁性合金的金相圖的示意圖,該軟磁性合金已被形成為膜。在該圖中,b-c-c結構的Fe的微晶相在環(huán)繞的區域中沉淀,表現出與具有非晶相的其余區域不同的相。計算圖1中的環(huán)繞區域的面積。 8表明它約占整個(gè)區域的50%。因此,顯而易見(jiàn)的是,在該示例的軟磁合金中,Fe的微晶相約占50%,非晶相約占50%。此外,從圖5中所示的5nm的尺度來(lái)看,在圖8中,每個(gè)晶粒顯然表現出小的晶粒尺寸。計算表明平均晶粒尺寸為7 nm。

      出具有Fe46.2Hf18.2O35.6組成的軟磁性合金的金相圖的示意圖,該軟磁性合金已被形成為膜。在該圖中,b-c-c結構的Fe的微晶相在環(huán)繞的區域中沉淀,表現出與具有非晶相的其余區域不同的相。計算圖1中的環(huán)繞區域的面積。圖9顯示它約占整個(gè)區域的10%。因此,顯而易見(jiàn)的是,在該示例的軟磁合金中,Fe的微晶相約占10%。此外,從圖5中所示的5nm的尺度來(lái)看,每晶粒顯然具有較小的晶粒尺寸;計算表明平均晶粒尺寸為4nm。

      軟磁合金


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