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    2. 晶體的成分分析

             出了通過(guò)測量具有與圖9的示意圖中所示的軟磁合金膜相同組成的軟磁性合金膜的晶相部分而獲得的分析結果。 通過(guò)使用能量分散型X射線(xiàn)光譜儀(EDS);和示出了通過(guò)測量相同的軟磁性合金膜的非晶相部分而獲得的分析結果。從這些結果可以看出,結晶相部分包含大量的b-c-c Fe,而非晶相部分包含高濃度的Hf和O。圖中的Cu峰歸因于EDS支架;它們不是由于軟磁性合金膜中包含的元素引起的。

      通過(guò)比較從圖1和圖2獲得的結果。參照圖8和9,具有表1所示的特性值。與具有圖7所示的結構的樣品相比,圖9的結構包含較大比例的非晶相。 8.由于非晶態(tài)相的比例較大,該樣品的電阻率值顯著(zhù)增加,如表1所示,其矯頑力基本保持不變。因此,發(fā)現通過(guò)減少Fe細晶相的比例以增加非晶相的比例,可以在不改變矯頑力的情況下實(shí)質(zhì)上增加比電阻。

      下一步出通過(guò)使用具有上述組成的軟磁性合金的磁性膜制成的電感器(平面磁性元件)的結構。

      軟磁合金


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