在該示例的電感器中，通常用符號C表示，氧化膜11，磁性膜12和緣層13以此順序依次層疊在基板10上。形成平面線(xiàn)圈14。在緣層13上形成緣層15，以覆蓋平面線(xiàn)圈14和緣層13，并且在緣層15上形成磁性膜16。

基板10由與上述示例中的基板1相同的材料制成，并且緣層13由與上述示例中的緣層3相同的材料制成。

磁性膜12由具有如上所述組成的軟磁性合金膜構成。較具體地說(shuō)，該合金具有Fea Mb Oc的組成；其中M代表至少一種稀土元素（Sc和Y，屬于元素周期表的3A組，鑭系元素包括La，Ce，Pr，Nd，Pm，Sm，Eu，Gd，Td，Dy ，Ho，Er，Tm，Yb，Lu等）或它們的混合物，a，b和c的組成比（原子％）如下：50≤a≤70，5≤b≤30，10≤ c≤30，并且a + b + c ＝ 100。磁性膜12也可以由組成為Fed M'e Of的軟磁性合金構成。其中M′表示元素Ti，Zr，Hf，V，Nb，Ta和W中的至少一種，或它們的混合物，組成比d，e和f（原子％）如下：45≤d ≤70、5≤e≤30、10≤f≤40，并且d + e + f = 100。

當基板10例如由Si晶片基板構成時(shí)，可以通過(guò)加熱Si晶片通過(guò)熱氧化來(lái)形成氧化膜11。但是，氧化膜11不是成分?？梢允÷?。

像上述示例的電感器B一樣，如上所述構造的該示例的電感器C表現出良好的電感，小且輕，并且較于減小平面磁性元件的尺寸和重量。

本發(fā)明的軟磁合金由具有特定組成和特定組成比并提供高飽和磁通密度，低矯頑力和高電阻率的Fe基合金組成，因此，減小尺寸和重量并增加磁性元件的性能，例如薄膜變壓器，磁頭芯，薄膜電感器和開(kāi)關(guān)元件。